方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝1

光刻膠的顯影和光刻工藝

顯影過(guò)程是將**后的光刻膠中與紫外光發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的部分除去或保留下來(lái)的過(guò)程。

顯影的主要過(guò)程如下：

對(duì)準(zhǔn)**→**后烘→顯影→堅(jiān)膜→顯影檢測(cè)。

1 對(duì)準(zhǔn)**（ Alignment and Exposure ）

對(duì)準(zhǔn)**階段是光刻工藝的重要階段，使用的掩膜**機(jī)，即光刻機(jī)，集中了光刻工藝中最重要的工藝技術(shù)。對(duì)準(zhǔn)**過(guò)程通常在黃光實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行。

使用的光刻機(jī)也根據(jù)不同的**原理，分為接觸式**，接近式**和投影式**。也可按自動(dòng)化程度高低分成手動(dòng)式，半自動(dòng)式NXQ4006，和全自動(dòng)式光刻機(jī)NXQ8000系列。

2 **后烘（PEB）

**后應(yīng)盡快進(jìn)行顯影步驟中的烘干處理，從而有效降低駐波效應(yīng)的影響，這是由于**過(guò)程中，入射光和反射光會(huì)產(chǎn)生相互干涉，其光強(qiáng)會(huì)沿著膠體水*方向形成波紋形狀，即駐波。目前通常采用**后立刻烘干方式，即PEB，減少駐波效應(yīng)帶來(lái)的影響。

無(wú)后烘處理

有后烘處理

3顯影（Develop）

PEB之后，硅片冷卻至23℃左右，與顯影液溫度相同，并與顯影液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。一般來(lái)說(shuō)，顯影過(guò)程中被**和未**部分的光刻膠都會(huì)與光刻膠發(fā)生反應(yīng)，因此，為得到良好的顯影效果，可以通過(guò)改變顯影液成分，顯影溫度，顯影方式，與顯影步驟等因素來(lái)加快**與為**部分光刻膠的溶解速率。若對(duì)顯影的要求不高，可以直接將硅片放入顯影液槽中浸泡然后取出。對(duì)于大部分對(duì)顯影要求較高的生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)過(guò)程，通常使用專用的勻膠顯影機(jī)來(lái)自動(dòng)**顯影過(guò)程，如圖所示。

WS-650Mz-23NPPB勻膠旋涂?jī)x

EDC-650Hz-8NPPB顯影腐蝕機(jī)

4 堅(jiān)膜（HB Hardbake）

堅(jiān)膜也稱為硬烘，是對(duì)顯影后的光刻膠加熱烘干，促使光刻膠與硅片粘著牢固，并且沒(méi)有發(fā)生形變。堅(jiān)膜階段的溫度一般**在 100-120℃之間，若加熱溫度過(guò)高會(huì)使得光刻膠軟化，如圖所示，并導(dǎo)致后期去膠困難。一般使用熱板或烘箱來(lái)**溫度變化。光刻工藝中的堅(jiān)膜工序。堅(jiān)膜是在顯影后以適當(dāng)?shù)臏囟群娓刹Ａб猿�去水分并增�?qiáng)其聚合，提高強(qiáng)度的工藝，它增強(qiáng)了膠膜與玻璃的粘附性。設(shè)定堅(jiān)膜所需的溫度與時(shí)間，應(yīng)以膜層圖形的牢固性和不致變形為原則。

5 顯影檢驗(yàn)（DIdevelopinspect）

在顯影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工藝的質(zhì)檢。適當(dāng)?shù)貋?lái)說(shuō)應(yīng)叫顯影檢驗(yàn)（developinspect）或DI。檢驗(yàn)的目的是區(qū)分那些有很低可能性通過(guò)最終掩膜檢驗(yàn)的晶圓；提供工藝性能和工藝**數(shù)據(jù)；及分揀出需要重做的晶圓。這時(shí)的檢驗(yàn)良品率，也就是通過(guò)這個(gè)質(zhì)檢的晶圓數(shù)量，不會(huì)計(jì)入最終良品率的計(jì)算。但是有兩個(gè)主要原因使之成為很受關(guān)注的良品率。

在顯影檢驗(yàn)工藝，工程師有個(gè)判斷工藝的性能機(jī)會(huì)。顯影檢驗(yàn)步驟的第二個(gè)重要性與在檢驗(yàn)時(shí)作的拒收有關(guān)。首先，一部分晶圓會(huì)從上一步留下來(lái)問(wèn)題而要停止工藝處理。這些晶圓在顯影檢驗(yàn)時(shí)會(huì)被拒絕接受并進(jìn)行處理。其它在光刻膠上有光刻圖案問(wèn)題的晶圓可被通過(guò)去掉光刻膠的辦法而進(jìn)行重新工藝處理。幾乎沒(méi)有工廠不發(fā)生這種一般性的重新工藝處理。晶圓被返回掩膜工藝稱為重新工藝處理（rework或redo）。工藝工程師的目標(biāo)是保持盡可能低的重新工藝處理率，處理率應(yīng)小于10%，而5%是一個(gè)受歡迎的水*。一個(gè)原因是經(jīng)過(guò)重新工藝處理的晶圓在最終工藝完成時(shí)有較低的分選良品率。重新工藝處理會(huì)造成粘貼問(wèn)題并且再次的傳輸操作會(huì)導(dǎo)致晶圓污染和損壞。如果太多的晶圓進(jìn)行重新工藝處理則整個(gè)分選良品率會(huì)受到嚴(yán)重的影響。保持低重新工藝處理率的第二個(gè)原因與在進(jìn)行重新工藝處理晶圓時(shí)要求另外的計(jì)算和區(qū)分有關(guān)。

顯影檢驗(yàn)良品率和重新工藝處理率隨掩膜水*而變�？傮w上，在掩膜次序中有較寬的特征圖形尺寸、較*的表面和較低的密度，所有這些會(huì)使掩膜良品率更高。在晶圓到了關(guān)鍵的接觸和連線步驟時(shí)，重新工藝處理率會(huì)有上升趨勢(shì)。總體上有四類晶圓上的問(wèn)題適用于顯影檢驗(yàn)和最終檢驗(yàn)，如在圖案尺寸（關(guān)鍵尺寸測(cè)量）上會(huì)有偏差；有定位不準(zhǔn)的圖案；有表面問(wèn)題如光刻膠的污染、空洞或劃傷及污點(diǎn)和其它的表面不規(guī)則。

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)擴(kuò)展閱讀

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展1）

——*首臺(tái)光刻機(jī)今日交付3篇

*首臺(tái)光刻機(jī)今日交付1

　　都說(shuō)科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力，如今包括中美2國(guó)在內(nèi)，全球各大主要經(jīng)濟(jì)體都在加速推動(dòng)本國(guó)科技的發(fā)展。其中，*推動(dòng)科技進(jìn)步的壓力和動(dòng)力都更大，為什么呢？因?yàn)?*近些年頻頻將各種高科技產(chǎn)品視為對(duì)付其他國(guó)家的工具，因此實(shí)現(xiàn)技術(shù)**對(duì)中企來(lái)說(shuō)有著重要意義。

　　在各種高端科技產(chǎn)品中，光刻機(jī)的進(jìn)展在*備受關(guān)注。而就在剛剛，*終于迎來(lái)一大好消息。2月7日最新消息顯示，致力于半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造等的*科技企業(yè)——上海微電子今天舉行了第一臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的發(fā)運(yùn)儀式。

　　這不僅意味著該企業(yè)正式交付首臺(tái)光刻機(jī)，而且也標(biāo)志著*首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)正式向客戶交付。那么，這臺(tái)光刻機(jī)有什么用呢？報(bào)道指出，這種光刻機(jī)具有高分辨率、高套刻精度以及超大**視場(chǎng)等特點(diǎn)，主要用于高密度異構(gòu)集成的領(lǐng)域。

　　對(duì)于芯片封裝企業(yè)來(lái)說(shuō)，這種光刻機(jī)不止可以滿足其封裝超大芯片尺寸的需求，而且還有助于其提高工藝水*，甚至還可以開(kāi)拓新的工藝。因此，上海微電子正式交付的這臺(tái)光刻機(jī)，對(duì)于*芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展無(wú)疑有著重要的意義。

　　據(jù)上海微電子此前透露，目前該企業(yè)已經(jīng)收到了多家客戶的光刻機(jī)訂單，可見(jiàn)目前市場(chǎng)對(duì)于這種光刻機(jī)的需求量仍不小。最后，你覺(jué)得*光刻機(jī)制造的前景如何？

*首臺(tái)光刻機(jī)今日交付2

　　光刻機(jī)是芯片制造不可或缺的重要設(shè)備，是振興國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心器械。**半導(dǎo)體針對(duì)光刻機(jī)等半導(dǎo)體核心設(shè)備的不斷加碼，讓我們意識(shí)到了核心技術(shù)的重要性。半導(dǎo)體行業(yè)的高景氣，以及各行各業(yè)對(duì)芯片需求的不斷增加，擁有自己的高端光刻機(jī)成為國(guó)產(chǎn)商和國(guó)人的共同理想。如今，它實(shí)現(xiàn)了！

　　2022年2月7日最新消息，上海微電子舉行首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式。該儀式的舉行**著*首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)正式交付給客戶使用。也**著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體成功破冰2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)核心技術(shù)壁壘，朝著高端半導(dǎo)體芯片自給自足的目標(biāo)又近了一步。

　　值得一提的是，關(guān)于這臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的交付，上海微電子早在2021年9月18日舉行的新品發(fā)布會(huì)中對(duì)其做出了介紹。表示公司將推出新一代大視場(chǎng)高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)，該臺(tái)設(shè)備將用于高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域，與往期推出的設(shè)備相比，該臺(tái)設(shè)備具備高分辨率、高套刻精度和超大**視場(chǎng)等特點(diǎn)。

　　上海微電子2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的正式交付，將幫助**半導(dǎo)體廠商實(shí)現(xiàn)多芯片高密度互聯(lián)封裝技術(shù)的具體應(yīng)用，滿足異構(gòu)集成超大芯片對(duì)特殊封裝尺寸的應(yīng)用需求。前面提到，上海微電子推出的2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)，其技術(shù)和精度都位于業(yè)界前沿水*，因此借助這臺(tái)設(shè)備，國(guó)產(chǎn)封裝測(cè)試廠的工藝水準(zhǔn)將大幅提高，有利于國(guó)產(chǎn)芯片封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及新型工藝的探索、研究。從而為*集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多的貢獻(xiàn)。

　　要知道，芯片封裝是芯片上市流通前的重要環(huán)節(jié)。好的封裝技術(shù)不僅能夠提升芯片的性能，還能夠大幅降低芯片的功耗，這對(duì)于處在爬坡階段的國(guó)產(chǎn)芯片企業(yè)來(lái)說(shuō)，顯然是一件再好不過(guò)的消息。畢竟從零部件到集成，再到設(shè)備測(cè)試和操作系統(tǒng)，上海微電子均實(shí)現(xiàn)了2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化。

　　2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的誕生，意味著**半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如今要想在芯片封裝領(lǐng)域中就設(shè)備卡我們脖子的可能性跌至為零。這對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)意義非凡。令人振奮的是，上海微電子交付的2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)不僅這一臺(tái)，上海微電子早在去年的發(fā)布會(huì)中便表示，公司已經(jīng)與多家客戶達(dá)成了新一代先進(jìn)封裝光刻機(jī)的銷(xiāo)售協(xié)議。這也**著上海微電子在**芯片封裝領(lǐng)域中逐步開(kāi)展國(guó)產(chǎn)化設(shè)備的替代。毫無(wú)疑問(wèn)，這將大幅提高國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展主動(dòng)權(quán)。

　　對(duì)于上海微電子推出的*首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)，大伙有什么想說(shuō)的呢？此次2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的正式交付，意味著這臺(tái)設(shè)備的品質(zhì)和水*已經(jīng)達(dá)到了業(yè)界主流水準(zhǔn)，這意味著我們距離實(shí)現(xiàn)高端芯片自給自足的目標(biāo)又近了一步，對(duì)此你有什么想表達(dá)的呢？

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展2）

——紫外光刻機(jī)的產(chǎn)品應(yīng)用概述 (菁華1篇)

紫外光刻機(jī)的產(chǎn)品應(yīng)用概述1

紫外光刻機(jī) 可廣泛用于MEMS和光電子，例如LED生產(chǎn)。它方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的III-V族材料，包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過(guò)選配升級(jí)套件，實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點(diǎn)：高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻，特征尺寸優(yōu)于微米、裝配SUSS的單視場(chǎng)顯微鏡或分視場(chǎng)顯微鏡，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)、針對(duì)厚膠工藝進(jìn)行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)、可選配通用光學(xué)器件，在不同波長(zhǎng)間進(jìn)行快速切換等。

隨著電子業(yè)的飛速發(fā)展,對(duì)作為電子元器件基礎(chǔ)的印制板的需求量及其加工精度的要求越來(lái)越高。紫外線光刻機(jī)是印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機(jī)的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過(guò)程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過(guò)于臃腫,使得其生產(chǎn)成本高、效率低,已不能滿足PC B 生產(chǎn)的需要。在實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了雙玻璃曬架光刻機(jī)，改進(jìn)了其主要組成部分,包括曬架系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及電氣和**系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)。

在計(jì)算機(jī)的**下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進(jìn)行**，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。

對(duì)光源系統(tǒng)的要求

有適當(dāng)?shù)牟ㄩL(zhǎng)。波長(zhǎng)越短，可**的特征尺寸就越��；[波長(zhǎng)越短，就表示光刻的刀鋒越鋒利，刻蝕對(duì)于精度**要求越高，因?yàn)檠苌洮F(xiàn)象會(huì)更嚴(yán)重。

有足夠的能量。能量越大，**時(shí)間就越短；

**能量必須均勻地分布在**區(qū)。[一般采用光的均勻度 或者叫 不均勻度 光的*行度等概念來(lái)衡量光是否均勻分布]

常用的紫外光光源是高壓弧光燈（高壓汞燈），高壓汞燈有許多尖銳的光譜線，經(jīng)過(guò)濾光后使用其中的g 線（436 nm）或i 線（365 nm）。

對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光光源，可以使用準(zhǔn)分子激光。例如KrF 準(zhǔn)分子激光（248 nm）、ArF 準(zhǔn)分子激光（193 nm）和F2準(zhǔn)分子激光（157 nm）等。

**系統(tǒng)的功能主要有：*滑衍射效應(yīng)、實(shí)現(xiàn)均勻照明、濾光和冷光處理、實(shí)現(xiàn)強(qiáng)光照明和光強(qiáng)調(diào)節(jié)等。

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展3）

——跌落的時(shí)光刻在心里作文

跌落的時(shí)光刻在心里作文1

　　但你們說(shuō)中考才是人生的第一道坎。

　　我便會(huì)讓你們滿意。

　　只要把這九年義務(wù)教務(wù)搞定，”于是我又信了你們，雖然你們不說(shuō)，命運(yùn)讓我們認(rèn)識(shí)是有原因的，分明催著人老，你說(shuō)：“有一天，” 至于我，。

　　到那個(gè)時(shí)候，抖得厲害，時(shí)間不會(huì)等待，你幸幸苦苦為了家，是英雄還是小卒，你們給予我生命，我的愛(ài)，我到了高一，對(duì)于生命的必然，謝謝你們做的一切。

　　你有你自己可選擇的人生，總是竭盡所有把最好的給了我們。

　　我們不會(huì)多干涉，時(shí)光究竟是個(gè)什么東西，你們只是告訴我：“高考是決定成敗的關(guān)鍵步驟，卻換來(lái)了一頭白發(fā)和操碎了的心，你的美麗呢？”我記得你簡(jiǎn)單的回答了一句：“有一天在很久很久的以后，我再也抱不直你們已經(jīng)彎曲的身體，時(shí)光也不會(huì)倒流， 我印象最深的便是爸爸說(shuō)的這句話；“周杰倫是大舌頭，我以為，讓最疼愛(ài)我的人慢慢老了， ，那已經(jīng)足夠了，但是我青春去了大半。

　　我小學(xué)的時(shí)候和千萬(wàn)人一樣開(kāi)始了前仆后繼的寒窗生涯。

　　我仍然記得，而且會(huì)時(shí)常陪著我看，你們對(duì)我的成績(jī)不滿意，你的青春怎么辦呢？那時(shí)的我堅(jiān)信，當(dāng)你的頭發(fā)在日光下閃爍著銀光，更不會(huì)把自己未完成的心愿嫁禍給你，但我知道。

　　我總是向你們索取，那些跌落的時(shí)光寫(xiě)到了你們臉上。

　　杰克遜絕對(duì)是腿部抽筋，但我不會(huì)忘記你們昔日以及現(xiàn)在的嚴(yán)厲與保守，皆在高考成績(jī)。

　　我不知道，滿懷信心的踏進(jìn)了初中的大門(mén)，但中考成績(jī)不理想， 花開(kāi)花落又是一季，我就這樣讀完了義務(wù)教育，讓你年紀(jì)輕輕的就承受了出人頭地的**，”可現(xiàn)在他不會(huì)說(shuō)一句他們的不好，”可你有沒(méi)有想過(guò)，我的`愛(ài)將成為你最容易忽略的美，是對(duì)我最大的恩賜啊，你的時(shí)間都為了家。

　　雙手撐起了我們的家。

　　“你知道嗎。

　　他時(shí)時(shí)刻刻的改變著這個(gè)世界的一切，我從來(lái)沒(méi)責(zé)怪過(guò)你們，而你們也在督促聲中慢慢老了。

　　進(jìn)了一個(gè)普通高中，你們和我說(shuō)：“現(xiàn)在的苦啊都是為了日后的甘甜做鋪墊，吐字不清。

　　讓我有了比其他孩子更**的家庭以及可去自行選擇的人生，但生活就像一把無(wú)情刻刀，”我信了你們，因?yàn)樗�知道我喜歡，歲月的風(fēng)沙早在不知不覺(jué)中時(shí)刻**著你們，卻沒(méi)張口說(shuō)過(guò)一句說(shuō)謝謝你們，你會(huì)記起我。

　　只能任憑流水洗盡鉛華， 而媽媽您總是會(huì)和我說(shuō)：‘ 我不會(huì)逼你頭懸梁錐刺股。

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展4）

——上海微電子今日正式交付首臺(tái)光刻機(jī)3篇

上海微電子今日正式交付首臺(tái)光刻機(jī)1

　　光刻機(jī)是芯片制造不可或缺的重要設(shè)備，是振興國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心器械。**半導(dǎo)體針對(duì)光刻機(jī)等半導(dǎo)體核心設(shè)備的不斷加碼，讓我們意識(shí)到了核心技術(shù)的重要性。半導(dǎo)體行業(yè)的高景氣，以及各行各業(yè)對(duì)芯片需求的不斷增加，擁有自己的高端光刻機(jī)成為國(guó)產(chǎn)商和國(guó)人的共同理想。如今，它實(shí)現(xiàn)了！

　　2022年2月7日最新消息，上海微電子舉行首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式。該儀式的舉行**著*首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)正式交付給客戶使用。也**著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體成功破冰2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)核心技術(shù)壁壘，朝著高端半導(dǎo)體芯片自給自足的目標(biāo)又近了一步。

　　值得一提的是，關(guān)于這臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的交付，上海微電子早在2021年9月18日舉行的新品發(fā)布會(huì)中對(duì)其做出了介紹。表示公司將推出新一代大視場(chǎng)高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)，該臺(tái)設(shè)備將用于高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域，與往期推出的設(shè)備相比，該臺(tái)設(shè)備具備高分辨率、高套刻精度和超大**視場(chǎng)等特點(diǎn)。

　　上海微電子2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的正式交付，將幫助**半導(dǎo)體廠商實(shí)現(xiàn)多芯片高密度互聯(lián)封裝技術(shù)的具體應(yīng)用，滿足異構(gòu)集成超大芯片對(duì)特殊封裝尺寸的應(yīng)用需求。前面提到，上海微電子推出的2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)，其技術(shù)和精度都位于業(yè)界前沿水*，因此借助這臺(tái)設(shè)備，國(guó)產(chǎn)封裝測(cè)試廠的工藝水準(zhǔn)將大幅提高，有利于國(guó)產(chǎn)芯片封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及新型工藝的探索、研究。從而為*集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多的貢獻(xiàn)。

　　要知道，芯片封裝是芯片上市流通前的重要環(huán)節(jié)。好的封裝技術(shù)不僅能夠提升芯片的性能，還能夠大幅降低芯片的功耗，這對(duì)于處在爬坡階段的國(guó)產(chǎn)芯片企業(yè)來(lái)說(shuō)，顯然是一件再好不過(guò)的消息。畢竟從零部件到集成，再到設(shè)備測(cè)試和操作系統(tǒng)，上海微電子均實(shí)現(xiàn)了2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化。

　　2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的誕生，意味著**半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如今要想在芯片封裝領(lǐng)域中就設(shè)備卡我們脖子的可能性跌至為零。這對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)意義非凡。令人振奮的是，上海微電子交付的2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)不僅這一臺(tái)，上海微電子早在去年的`發(fā)布會(huì)中便表示，公司已經(jīng)與多家客戶達(dá)成了新一代先進(jìn)封裝光刻機(jī)的銷(xiāo)售協(xié)議。這也**著上海微電子在**芯片封裝領(lǐng)域中逐步開(kāi)展國(guó)產(chǎn)化設(shè)備的替代。毫無(wú)疑問(wèn)，這將大幅提高國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展主動(dòng)權(quán)。

　　對(duì)于上海微電子推出的*首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)，大伙有什么想說(shuō)的呢？此次2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)的正式交付，意味著這臺(tái)設(shè)備的品質(zhì)和水*已經(jīng)達(dá)到了業(yè)界主流水準(zhǔn)，這意味著我們距離實(shí)現(xiàn)高端芯片自給自足的目標(biāo)又近了一步，對(duì)此你有什么想表達(dá)的呢？

上海微電子今日正式交付首臺(tái)光刻機(jī)2

　　2月7日，上海微電子舉行首臺(tái)2.5D / 3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式，這標(biāo)志著*首臺(tái)2.5D / 3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)正式交付客戶。

　　據(jù)上海微電子官微介紹，先進(jìn)封裝光刻機(jī)是公司目前的主打產(chǎn)品，全球市場(chǎng)占有率連續(xù)多年排名第一。此次發(fā)運(yùn)的產(chǎn)品是新一代的先進(jìn)封裝光刻機(jī)，主要應(yīng)用于高端數(shù)據(jù)中心高性能計(jì)算（HPC）和高端AI芯片等高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域，可滿足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封裝應(yīng)用需求，**了行業(yè)同類產(chǎn)品的最高水*，對(duì)豐富公司的產(chǎn)品種類有著重要的意義。

　　早在2021年9月，上海微電子便宣布推出新一代大視場(chǎng)高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)，該產(chǎn)品主要應(yīng)用于高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域，具有高分辨率、高套刻精度和超大**視場(chǎng)等特點(diǎn)，可幫助晶圓級(jí)先進(jìn)封裝企業(yè)實(shí)現(xiàn)多芯片高密度互連封裝技術(shù)的應(yīng)用，滿足異構(gòu)集成超大芯片封裝尺寸的應(yīng)用需求。

　　同時(shí)，將助力封裝測(cè)試廠商提升工藝水*、開(kāi)拓新的工藝，在封裝測(cè)試領(lǐng)域共同為*集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多的貢獻(xiàn)。

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展5）

——制膠廠安全技術(shù)規(guī)章** (菁華1篇)

制膠廠安全技術(shù)規(guī)章**1

為保證制膠廠各種機(jī)械的安全運(yùn)行,促進(jìn)制膠廠機(jī)械化程度的不斷提高,提高制膠廠的生產(chǎn)力發(fā)展水*,確保機(jī)械完好無(wú)損和機(jī)械操作人員的人身安全,特制定本**。

一、安全生產(chǎn)管理

為了使膠廠的生產(chǎn)順利進(jìn)行,根據(jù)國(guó)家有關(guān)勞動(dòng)保護(hù)法規(guī)和本廠的情況,膠廠應(yīng)成立安全生產(chǎn)委員會(huì),負(fù)貴全廠的安全生產(chǎn)工作認(rèn)真貫徹執(zhí)行有關(guān)規(guī)章**和規(guī)程。

服從并接受上級(jí)主管部門(mén)的**。

(一)制膠廠安全**管理

制膠廠生產(chǎn)管理委員會(huì)設(shè)**一名(一般廠長(zhǎng)兼任),副**一名,委員若干名,委員由車(chē)間小組長(zhǎng)等主要生產(chǎn)骨干組成。

(二)制膠廠各級(jí)安全生產(chǎn)管理機(jī)構(gòu)的職責(zé)

1、安全生產(chǎn)委員會(huì)**職責(zé)

(1)對(duì)本單位的安全工作負(fù)全面責(zé)任。

**安全生產(chǎn)委員會(huì)及車(chē)間的安全人員。

(2)貫徹執(zhí)行勞動(dòng)保護(hù)**,法規(guī)和上級(jí)指標(biāo),有計(jì)劃布置檢查、總結(jié)、評(píng)比生產(chǎn)的同時(shí),將安全生產(chǎn)納入生產(chǎn)管理的重要位置,定期召開(kāi)安全會(huì)議研究工作,針對(duì)問(wèn)題訂出解決辦法,**實(shí)施。

(3)結(jié)合技術(shù)改造,制定和實(shí)施改善勞動(dòng)安全衛(wèi)生面貌計(jì)劃積極采用先進(jìn)技術(shù),使生產(chǎn)作業(yè)場(chǎng)所達(dá)到*衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)要求,不斷改善勞動(dòng)條件。

(4)定期**安全生產(chǎn)檢查,及時(shí)解決隱患,保證本單位場(chǎng)區(qū),工作場(chǎng)所,生產(chǎn)設(shè)施 安全,衛(wèi)生設(shè)施等處于安全良好狀態(tài)。

(5)向職工大會(huì)報(bào)告安全工作情況,表彰獎(jiǎng)勵(lì)安全生產(chǎn)、文明生產(chǎn)典型。

(6)**事故搶救,進(jìn)行事故**處理。

并及時(shí)采取預(yù)防重復(fù)性事故的措施。

(7)有權(quán)拒絕或暫緩執(zhí)行上級(jí)違反勞動(dòng)保護(hù)法規(guī)和安全技術(shù)規(guī)程的生產(chǎn)指令,并及時(shí)向上級(jí)報(bào)告。

(三)制膠廠安全生產(chǎn)**

1、本廠范圍內(nèi)的橡膠加工機(jī)械、橡膠加工輔助機(jī)械等,都必須遵守本規(guī)章**。

2、各種機(jī)械操作人員,都必須經(jīng)過(guò)培訓(xùn),并經(jīng)考試合格者,方可上機(jī)操作,新員工必須在老員工的帶領(lǐng)指導(dǎo)下,方可上機(jī)操作。

3、各種機(jī)械都要固定專人操作,不也許隨便由多人操作,隨機(jī)工具、用具都要建立登記卡,交接清楚、丟失的一律按原價(jià)賠償;

調(diào)換人員必須在本單位行政**的**下。

4、機(jī)械操作工都必須熟練所操作機(jī)械的各種性能,嚴(yán)格按照機(jī)械性能和安全系數(shù)進(jìn)行操作,不得違章操作后負(fù)荷操作。

5、每次作業(yè)前,應(yīng)對(duì)機(jī)械的傳動(dòng)部位、潤(rùn)滑部位、緊固部位進(jìn)行嚴(yán)格的檢查,確認(rèn)無(wú)誤后,方可開(kāi)機(jī),空載運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,方可帶負(fù)荷操作。

6、電源傳動(dòng)機(jī)械,開(kāi)機(jī)前要檢查導(dǎo)線連接是否牢固,開(kāi)關(guān)是否靈活,接地裝置是否安全,電壓是否符合電動(dòng)機(jī)的要求,防護(hù)裝置是否完備,經(jīng)檢查無(wú)誤后,方可開(kāi)閘運(yùn)轉(zhuǎn),作業(yè)結(jié)束后,必須關(guān)好電源,清掃場(chǎng)地和灰塵。

7、各種機(jī)械毒藥有防護(hù)裝置,操作時(shí),操作工要穿戴工作服、工作帽、手套等;

機(jī)械周?chē)�不也許人站在旁邊,以防工傷事故發(fā)生。

8、各種機(jī)械都必須建立安全運(yùn)轉(zhuǎn)小時(shí)登記卡,又便掌握機(jī)械的優(yōu)劣程度和便于操作工技術(shù)熟練程度。

9、各種機(jī)械都應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行定期保養(yǎng)后抓住機(jī)械空隙時(shí)間,進(jìn)行保養(yǎng),以提高機(jī)械的使用壽命和保證各種機(jī)械的完好率。

10、操作工在機(jī)械工作時(shí),不也許離開(kāi),更不也許交別人操作,機(jī)械工作時(shí)要仔細(xì)觀察機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,細(xì)心聽(tīng)是否有異常聲音,如發(fā)現(xiàn)異�，F(xiàn)象要立即停機(jī)檢查,待故障排除后,方可試機(jī),試機(jī)無(wú)誤后,才能開(kāi)始正常工作。

11、堅(jiān)決杜絕機(jī)械帶病工作,操作人員對(duì)不能照常運(yùn)轉(zhuǎn)的機(jī)械有權(quán)停止開(kāi)機(jī),但也不能故意刁難工作人員;

否則經(jīng)查實(shí),視情節(jié)輕重,經(jīng)濟(jì)損失程度分別給予罰款,撤消操作工作資格,直至開(kāi)除工職的處分。

12、嚴(yán)禁在機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),進(jìn)行固定螺絲,加注潤(rùn)滑油后進(jìn)行其他處理,電動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械不準(zhǔn)帶電維修。

13、夜間作業(yè)必須有良好的照明設(shè)備和照明條件,嚴(yán)禁無(wú)燈開(kāi)機(jī)和作業(yè)。

14、禁止私接電網(wǎng)、私按電器、用電捕魚(yú)、捕老鼠等。

不準(zhǔn)使用“一線一地”的電燈照明。

15、氣焊在工作時(shí),氣瓶閥如有損壞,應(yīng)及時(shí)送專修部門(mén)修理,氣焊不得自行拆修,氣瓶如有漏氣,禁止使用。

16、氧氣皮管和乙炔皮管,必須有區(qū)分,便于在出現(xiàn)問(wèn)題時(shí),采取正確的措施,氧氣皮管一般涂綠色或黑色,乙炔皮管用紅色;

使用新管時(shí),應(yīng)用壓縮空氣將管內(nèi)的雜質(zhì)、灰吹靜,以免影響氣體流通。

(四)安全教育**

1、經(jīng)常向職工進(jìn)行安全思想教育,宣傳貫徹“安全第一、預(yù)防為主“的方針。

2、堅(jiān)持對(duì)職工及特殊工種工人的安全技術(shù)訓(xùn)練和考核。

3、采取新技術(shù)、新材料、新設(shè)備時(shí),必須同時(shí)對(duì)工人進(jìn)行使用這些新技術(shù)、新材料、新設(shè)備的安全技術(shù)培訓(xùn),制定操作規(guī)程。

4、把安全技術(shù)知識(shí)列入技術(shù)業(yè)務(wù)學(xué)習(xí)內(nèi)容,定期進(jìn)行安全生產(chǎn)的宣傳指導(dǎo)。

(五)安全技術(shù)措施的管理辦法

1、易燃物品的管理

(1)成品倉(cāng)庫(kù)內(nèi)嚴(yán)禁吸煙,修理人員嚴(yán)禁把汽油、柴油等易燃油料帶入成品庫(kù)。

(2)汽油和柴油等易燃性油料,存放保管必須安全封閉,遠(yuǎn)離火源,有禁止標(biāo)志。

(3)修理人員使用汽油、柴油時(shí),十米之內(nèi)嚴(yán)禁煙火。

(4)修理間和物資倉(cāng)庫(kù),嚴(yán)禁無(wú)關(guān)人員進(jìn)入,嚴(yán)禁煙火。

2、安全用電管理

(1)注意節(jié)約用電,堅(jiān)持執(zhí)行人離機(jī)停。

(2)大建工程,維修工程施工,需要遷折線路,以及對(duì)包工設(shè)施用電,必須由**安排,不準(zhǔn)亂接和擅自移動(dòng)。

3、有毒物品的管理

(1)化驗(yàn)室、檢驗(yàn)室使用的化學(xué)物品試劑,應(yīng)由專人保管,嚴(yán)禁私自轉(zhuǎn)借、拿用。

(2)生產(chǎn)上使用的酸、氨應(yīng)專庫(kù)存放保管,各班、組不得自存任意堆放。

(六)安全生產(chǎn)獎(jiǎng)罰**

1、“安全生產(chǎn),人人有責(zé)”,職工應(yīng)認(rèn)真貫徹執(zhí)行有關(guān)勞動(dòng)保護(hù)方針、**、規(guī)定。

凡是重視安全生產(chǎn)、遵守并嚴(yán)格執(zhí)行膠廠的各項(xiàng)規(guī)章**及其操作規(guī)程,對(duì)安全生產(chǎn)做出顯著成績(jī)的,對(duì)防止挽救事故,有功的班組和職工要給予表彰和獎(jiǎng)勵(lì)。

2、凡發(fā)生安全事故的班組和個(gè)人,視情節(jié)輕重、損失大小,給予紀(jì)律處分和經(jīng)濟(jì)制裁。

3、凡不重視安全生產(chǎn)工作,不按規(guī)章**辦事,存有重大隱患而不及時(shí)解決的班組和個(gè)人,視情節(jié)輕重給予紀(jì)律處分和經(jīng)濟(jì)制裁。

4、各級(jí)****應(yīng)對(duì)安全(傷亡)事故**,報(bào)告的及時(shí)性和正確性負(fù)責(zé),做到“三不放過(guò)”,即:事故原因分析不清不放過(guò);

事故責(zé)任者和群眾未受教育不放過(guò);

沒(méi)有防范措施不放過(guò)。

5、對(duì)安全(傷亡)事故責(zé)任者的處理,由有關(guān)安全小組提出建議,安委會(huì)按章給予下列處罰:

(1)不能評(píng)為先進(jìn)班組和個(gè)人

(2)扣發(fā)月、季或年度獎(jiǎng)金

(3)給予行政警告、記過(guò)、撤職處分

(4)構(gòu)成刑事責(zé)任者,提交司法部處理

云墾西盟制膠廠

二O一二年二月二十日

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展6）

——工藝品倉(cāng)儲(chǔ)合同 (菁華1篇)

工藝品倉(cāng)儲(chǔ)合同1

甲方：_____________地址：________________________

乙方：____________地址：________________________

雙方就下表所列物資儲(chǔ)存事宜協(xié)商如下：

(一)儲(chǔ)存物資

品名：_________________________________

規(guī)格：_________________________________

單價(jià)：_________________________________

數(shù)量：_________________________________

交貨日期：_________________________________

儲(chǔ)存?zhèn)}庫(kù)：_________________________________

附注：_________________________________

(二)儲(chǔ)存時(shí)間：_________________________________

(三)儲(chǔ)存場(chǎng)所：_________________________________

(四)倉(cāng)儲(chǔ)物保險(xiǎn)：_______________________________

(五)雙方**義務(wù)

甲方負(fù)責(zé)物資的質(zhì)量檢驗(yàn)，乙方負(fù)責(zé)物資的外觀、數(shù)量檢驗(yàn)。

入庫(kù)后發(fā)生物資損壞、缺少由乙方負(fù)責(zé)。

乙方負(fù)責(zé)運(yùn)輸時(shí)，運(yùn)輸中發(fā)生物資損壞、缺少由乙方負(fù)責(zé)。

(六)物資的驗(yàn)收、發(fā)貨，乙方憑甲方的入庫(kù)單、出庫(kù)單辦理。

(七)倉(cāng)儲(chǔ)費(fèi)及其他費(fèi)用：

入庫(kù)費(fèi)：__________________

倉(cāng)租：__________________

出庫(kù)費(fèi)：________________

運(yùn)輸費(fèi)：____________

(八)本合同于_________年_________月_________日于_________市_________區(qū)簽訂。

甲方：(公章)_______________

法定**人：(簽章)_________

乙方：(公章)_______________

法定**人：(簽章)_________

日期：_____________________

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展7）

——混凝土填縫膠供貨合同 (菁華1篇)

混凝土填縫膠供貨合同1

甲方(需方)：

乙方(供方)：

甲乙雙方本著誠(chéng)實(shí)信用，*等互利的宗旨，經(jīng)過(guò)認(rèn)真洽商，就甲方訂購(gòu)乙方的HBPU**混凝土填縫膠產(chǎn)品，達(dá)成如下協(xié)議：

一.產(chǎn)品的單價(jià)

**混凝土填縫膠，單價(jià)為 元/噸。

外加阻流劑，360克/袋規(guī)格，單價(jià)為 元/袋。

底涂劑。單價(jià)為 元/公斤。

二、訂購(gòu)數(shù)量：

甲方向乙方訂購(gòu)HBPU**混凝土填縫膠 噸。ZP-1底涂劑 公斤。外加阻流劑 袋。

二.交貨地點(diǎn)

通過(guò)物流公司發(fā)往甲方指定地點(diǎn)，運(yùn)費(fèi)由甲方負(fù)擔(dān)。

三.付款內(nèi)容及方式

本合同總款項(xiàng)為*** 元整(￥ 元)。

甲方應(yīng)于合同簽定之日預(yù)付給乙方總款項(xiàng)的30% 即*** 元整 (小寫(xiě)￥ 元)作為產(chǎn)品的預(yù)付款。同時(shí)乙方開(kāi)始為甲方備貨。

甲方在提貨時(shí)需付給乙方總款項(xiàng)中的剩余70% 即*** ____元整(小寫(xiě)￥ 元)。

四.交貨日期

乙方應(yīng)于收到甲方交付的第一次貨款時(shí)，開(kāi)始準(zhǔn)備所需產(chǎn)品，并按雙方約定時(shí)間發(fā)貨，并由甲方驗(yàn)收。

五.產(chǎn)品質(zhì)量保證

乙方產(chǎn)品應(yīng)符合GB/T19250-20xx相關(guān)規(guī)定。

乙方負(fù)責(zé)對(duì)產(chǎn)品的使用人員免費(fèi)技術(shù)培訓(xùn)。

經(jīng)甲乙雙方認(rèn)可的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)，乙方產(chǎn)品達(dá)不到國(guó)標(biāo)要求的產(chǎn)品予以免費(fèi)換貨或退貨。

六.違約責(zé)任及爭(zhēng)議解決方式

⒈甲乙雙方在合作銷(xiāo)售中，應(yīng)該各自完成所承擔(dān)的責(zé)任和義務(wù)，履行協(xié)議約定的各項(xiàng)條款，共同維護(hù)合同的完整性。不出現(xiàn)違反合同約定的問(wèn)題。如果發(fā)生以下現(xiàn)象應(yīng)視為違約：

① 乙方如在甲方定貨的規(guī)定期內(nèi)，未能向甲方提供相應(yīng)的產(chǎn)品。

② 甲方未能按定貨合同的規(guī)定，向乙方支付產(chǎn)品貨款時(shí)。

③ 甲方中途退貨。(產(chǎn)品質(zhì)量不合格原因除外)

甲乙雙方在出現(xiàn)違約或其它爭(zhēng)議時(shí)，應(yīng)本著友好協(xié)商解決矛盾的原則來(lái)處理，盡量使事情有一圓滿的解決方案。如果甲乙雙方協(xié)商不成時(shí)，可采取以下一種或不違反法律**的多種措施：

①變更和修改合同。

②終止合作協(xié)議。

③向經(jīng)濟(jì)合同仲裁委員會(huì)申請(qǐng)仲裁。

④可向乙方所在地的人民**提出訴訟。

七.本協(xié)議一式兩份，甲乙雙方各執(zhí)一份，自簽字蓋章后即已具備法律效力。如遇本協(xié)議未規(guī)定的事情及問(wèn)題，雙方應(yīng)另行商議并做出書(shū)面協(xié)定。

甲方： 乙方：

甲方**簽字： 乙方**簽字：

甲方公章： 乙方公章：

年 月 日 年 月 日

方案｜光刻膠的顯影和光刻工藝 (菁華1篇)（擴(kuò)展8）

——結(jié)構(gòu)密封膠購(gòu)銷(xiāo)合同 (菁華1篇)

結(jié)構(gòu)密封膠購(gòu)銷(xiāo)合同1

甲方：________乙方：_________

依據(jù)《*******民法典》，甲乙雙方本著誠(chéng)實(shí)守信、*等自愿、互利互惠的原則，就甲方工程所需建筑硅酮耐候密封膠及結(jié)構(gòu)密封膠購(gòu)銷(xiāo)等事項(xiàng)協(xié)商一致，簽定本合同。

一、 產(chǎn)品名稱及規(guī)格和價(jià)格

1、 產(chǎn)品名稱：建筑硅酮耐候密封膠及結(jié)構(gòu)密封膠 2、 產(chǎn)品規(guī)格及價(jià)格

注：__、上述單價(jià)為約定地交貨價(jià)，交貨地：在蘇州市區(qū)范圍內(nèi)為甲方指定地點(diǎn)，其它地方另行約定;

b、上述單價(jià)為最終單價(jià)，在合同有效期內(nèi)，不因市場(chǎng)等各種因素的變化而進(jìn)行浮動(dòng)或調(diào)整; c、每600支膠乙方向甲方免費(fèi)提供膠槍兩把;

d、膠的顏色及數(shù)量在乙方供貨前七天甲方以書(shū)面形式通知乙方;

二、 貨品品質(zhì)保證

1、 乙方應(yīng)該提供全新、合格的合同產(chǎn)品(距產(chǎn)品的有效期至少保證不少于6個(gè)月的時(shí)間)，且所有產(chǎn)品均應(yīng)符合乙方公司相關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和待業(yè)規(guī)范相關(guān)技術(shù)要求，同時(shí)保證使用的產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)滿足國(guó)家現(xiàn)行有效標(biāo)準(zhǔn)要求。經(jīng)甲乙雙方確定或委托雙方認(rèn)可的**檢測(cè)機(jī)構(gòu)認(rèn)定的不合格產(chǎn)品，甲方有權(quán)向乙方提出因該批不合格產(chǎn)品造成的直接或間接損失且乙方必須無(wú)條件更換不合格產(chǎn)品。

2、 乙方對(duì)每批發(fā)運(yùn)產(chǎn)品保證品質(zhì)合格，在保證滿足對(duì)貨物運(yùn)輸要求的基礎(chǔ)上，乙方應(yīng)提供適合運(yùn)輸?shù)臉?biāo)準(zhǔn)包裝。

3、 乙方應(yīng)提*品完整的質(zhì)量證明文件資料：合格證、對(duì)結(jié)構(gòu)膠不少于十年的質(zhì)量保證書(shū)、國(guó)家權(quán)威機(jī)構(gòu)提供的產(chǎn)品檢驗(yàn)報(bào)告等。

三、 產(chǎn)品貨款結(jié)算與支付

四、 驗(yàn)收

1、 甲方在收到貨物三日內(nèi)在收貨現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)貨物清單與收貨品種、規(guī)格、顏色、數(shù)量和時(shí)間是否相符;外包裝是否完好，如有破損，程度如何。在檢驗(yàn)過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)不符之處，甲乙雙方應(yīng)立即確認(rèn)，且乙方必須采取必要措施補(bǔ)救，若甲方在七日內(nèi)未提出異議(貨品的真實(shí)性除外)，則視為貨物該項(xiàng)驗(yàn)收完畢;

2、 甲方根據(jù)雙方封存的樣品對(duì)貨品進(jìn)行檢驗(yàn)、簽收，甲方如無(wú)正當(dāng)理由而拒絕簽收，則視為該批貨物合格。

3、 驗(yàn)收如發(fā)生爭(zhēng)議，由國(guó)家權(quán)威檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)按現(xiàn)行版的*******有關(guān)幕墻密封膠與結(jié)構(gòu)膠相關(guān)規(guī)范、檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)和方法，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn),由此產(chǎn)生的費(fèi)用由責(zé)任方承擔(dān)。

4、 凡甲方要求乙方送達(dá)工地的貨物，甲方應(yīng)在定貨同時(shí)應(yīng)向乙方說(shuō)明簽收人，如無(wú)說(shuō)明貨物簽收人的，則甲方住工地臨時(shí)倉(cāng)管人員或甲方項(xiàng)目經(jīng)理簽收均**甲方實(shí)際已收到該貨物;凡甲方要求乙方送

1、 乙方對(duì)合同材料提供技術(shù)交底、如甲方向乙方提出具體要求的施工指導(dǎo)與培訓(xùn)及維護(hù)保養(yǎng)指導(dǎo)等服務(wù)，乙方應(yīng)無(wú)償提供此項(xiàng)服務(wù);

2、 乙方承諾對(duì)其送達(dá)的產(chǎn)品提供國(guó)家權(quán)威機(jī)構(gòu)出具的產(chǎn)品檢測(cè)報(bào)告、并保證本合同貨品符合國(guó)家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)。如產(chǎn)品不符合工程使用要求，甲方有權(quán)要求退回該產(chǎn)品。

六、 違約責(zé)任

1、 甲方違約責(zé)任

(1)甲方應(yīng)按合同規(guī)定及時(shí)向乙方支付款項(xiàng)，逾期付款的，每日應(yīng)按本合同履行總貨款金額3‰計(jì)算，向乙方支付逾期付款的違約金;

(2)由于甲方原因錯(cuò)通知到貨，應(yīng)承擔(dān)乙方因此受到的損失。?

2、 乙方違約責(zé)任

(1)乙方在交貨期間內(nèi)，不能按時(shí)交貨，每延期一天向甲方償付本合同履行總價(jià)的3‰的違約金。如逾期超過(guò)5天，甲方有權(quán)終止合同并可就遭受的損失向乙方索賠;

(2)乙方因貨物包裝不符合合同中的相關(guān)規(guī)定，須返修或重新包裝的，乙方負(fù)責(zé)返修或重新包裝，并承擔(dān)因此支出的費(fèi)用。甲方不要求返修或重新包裝而要求賠償損失的，乙方應(yīng)賠償甲方該不合格包裝物低于合格物的差價(jià)部分。因包裝不當(dāng)造成貨物損壞或滅失的，由乙方負(fù)責(zé)賠償;

(3)乙方提交的貨物，如其品種、型號(hào)、規(guī)格、質(zhì)量等不符合約定，甲方應(yīng)及時(shí)通知乙方進(jìn)行更換或退貨，否則甲方在代保管期間實(shí)際支付的保管、保養(yǎng)等費(fèi)用以及非因甲方保管不善而發(fā)生的損失，均應(yīng)由乙方承擔(dān);

七、 不可抗力

乙方由于地震、戰(zhàn)爭(zhēng)等不可抗力原因不能履行合同時(shí)，供貨期順延。但乙方經(jīng)營(yíng)性困難、停水、停電等不在此列。乙方應(yīng)在不可抗力事件發(fā)生之日起三日內(nèi)向甲方**，以減輕可能給甲方造成的損失。在取得有關(guān)機(jī)構(gòu)的不可抗力證明后，允許延期履行、部分履行或者不履行合同，并根據(jù)情況可部分或全部免予承擔(dān)違約責(zé)任。

八、 爭(zhēng)議解決

凡因本合同引起的或本合同有關(guān)的任何爭(zhēng)議，甲方雙方應(yīng)友好協(xié)商，如雙方不能通過(guò)友好協(xié)商解決，均應(yīng)提交蘇州仲裁委員會(huì)，按照申請(qǐng)仲裁時(shí)該會(huì)衽的仲裁規(guī)則進(jìn)行仲裁。仲裁裁決是終局的，對(duì)雙方均具有約束力。

九、 附加條款

合同未盡事宜，由甲乙雙方另行協(xié)商簽訂補(bǔ)充協(xié)議，補(bǔ)充協(xié)議與合同具有同等法律地位，如補(bǔ)充協(xié)議與合同內(nèi)容有不符之處，以補(bǔ)充協(xié)議為準(zhǔn)。

十、 其他事項(xiàng)

1、 本合同經(jīng)甲方雙方簽字蓋章后生效，合同有效期內(nèi)，除非經(jīng)過(guò)雙方同意，或者另有法定理由，任何一方不得變更或**合同。

2、 本合同一式貳份，甲乙雙方各執(zhí)一份，均具有同等法律效力。

甲方(公章)：________乙方(公章)：________

**人：_________ **人：_________

電話：_________ 電話：_________